美国AE10K中频电源 40KHZ磁控溅射电源 基本介绍
美国AE公司 中频电源PE II
性能：
1.程序自动保护功能
2.控制信号源：模拟/数字端口或前面板控制
3.调节模式：功率，电压或者电流
4.冷却及周围环境温度：进口端冷却水的温度在+5℃到+30 ℃之间，周围环境不能超过+40℃
5.***的适应性和模块性
6.高的功率密度
性能：
1.程序自动保护功能
2.控制信号源：模拟/数字端口或前面板控制
3.调节模式：功率，电压或者电流
4.冷却及周围环境温度：进口端冷却水的温度在+5℃到+30 ℃之间，周围环境不能超过+40℃
5.***的适应性和模块性
6.高的功率密度
美国AE10K中频电源 40KHZ磁控溅射电源 性能特点
型号 5KW 10KW
源电压 180 ~ 230 VAC (常用208V)；3φ（带地线，无零线）
85%（全功率输出）
功率因数 0.90（全功率输出）
输出频率 40 KHZ ±0.01%
输出功率 5 KW和10 KW
尺寸 177mm(高)×482.6mm（宽）×（厚）
重量 40.8kg
调节模式 功率，电压或电流
测量度 ±1%
工作环境温度 0到40℃
冷却装置 水冷
温度 进口端5到30℃
流量 7.57 l/min
压力 6.9 bars
源电压 180 ~ 230 VAC (常用208V)；3φ（带地线，无零线）
85%（全功率输出）
功率因数 0.90（全功率输出）
输出频率 40 KHZ ±0.01%
输出功率 5 KW和10 KW
尺寸 177mm(高)×482.6mm（宽）×（厚）
重量 40.8kg
调节模式 功率，电压或电流
测量度 ±1%
工作环境温度 0到40℃
冷却装置 水冷
温度 进口端5到30℃
流量 7.57 l/min
压力 6.9 bars
美国AE10K中频电源 40KHZ磁控溅射电源 技术参数
美国AE10K中频电源 40KHZ磁控溅射电源 使用说明
美国AE10K中频电源 40KHZ磁控溅射电源 采购须知
